Упаковка MEMSПо мере уменьшения размеров и увеличения мощности компонентов MEMS, растет потребность в равной степени миниатюрных решений упаковки. SCHOTT Group предоставляет разнообразие стеклянных материалов и компонентов герметичной упаковки, таких как высокоточные TO PLUS® и технология стеклянной микросвязи от Primoceler. Эти надежные варианты упаковки обеспечивают долгосрочную герметичность для защиты MEMS от перегрева и механических воздействий. |
Элeктромагнитно управляемые зеркала с использованием технологии MEMSШироко используются в индустрии коммуникаций и средствах интеллектуальной безопасности. Чувствительны и должны быть защищены от влаги и частиц пыли, но требуют высокопроизводительного оптического интерфейса. Ультратонкие стекла, такие как MEMpax®, D263® и BOROFLOAT®, идеально подходят для зеркальных подложек, в то время как наши герметичные корпуса в стиле транзистора и микроэлектронные упаковки обеспечивают оптимальную производительность зеркал MEMS в сложных условиях эксплуатации. |
Датчики / Сенсоры давленияSCHOTT предлагает уникальный портфель продуктов для защиты датчиков давления MEMS от внешней среды, и компонентов для самих датчиков. MEMpax® и BOROFLOAT® - это плоские, высокооднородные боросиликатные стекла, идеально подходящие для анодной сварки, в то время как FLEXINITY® представляет собой инновационный портфель структурированных подложек и стеклянных подложек. Кроме того, вафли HermeS® предоставляют прочные и надежные чип-упаковки для промышленных сенсоров. |